ITO靶材的制备工艺 

　　本项目采用清华大学化工联合国家重点实验室最新研发的注浆-气氛烧结法先进生产工艺制备纳米氧化铟锡高性能靶材，同时项目在纳米氧化铟锡前驱体制备阶段创造性地采用了微反应器技术。主要工艺如下：