溅射时ITO靶材产生裂纹的原因
发布时间：2017/11/16
1：ito靶材的材质，最主要是冷却效果的好坏，不知道你的冷却条件怎么样，如果不行，就需要改善了。
2：焊靶时靶块之间要留有缝隙，否则启辉发热会裂。冷却水要畅通，且充分
