ITO粉末 

　　1、氧化铟物质纯度≥99.99%，晶粒颗粒为立方相，晶型纯度≥99.99%；
　　2、氧化铟锡靶材致密度≥99.5%，立方晶型纯度≥99.9%。

　　本项目采用清华大学化工联合国家重点实验室最新研发的注浆-气氛烧结法先进生产工艺制备纳米氧化铟锡高性能靶材，同时项目在纳米氧化铟锡前驱体制备阶段创造性地采用了微反应器技术。主要工艺如下：